電子元器件無塵車間電子元器件一般潔淨度在10000級到100000級,溫濕度控製嚴格,需要很高的潔淨工藝; 由於電子元器件工藝生產技術的特殊性,它對生產環境,如潔淨度、溫度、濕度都有嚴格的要求,這直接關係到晶圓產品的質量和壽命,必須嚴格控製在要求範圍之 內。在工程設計中,暖通空調專業擔負著保證生產區潔淨度等級和溫度、濕度要求的使命。
潔淨室係統采用集中送風形式。 頂送側下回風形式;
過濾係統如何選擇
無塵車間係統采用集中送風形式。 頂送側下回風形式;
維護結構如何選擇
1.萬級、十萬級潔淨室牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,陰角全部選用圓弧連接;采用回風立柱為回風技術夾道;
2.地麵:一般為pvc防靜電地板或2mm環氧樹脂自流平地麵;
91短视频在线下载免费參數
換氣次數:100000級≥18次,10000級≥25次;;。
壓差:主車間對相鄰房間≥10Pa
溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;
濕度45-65%;噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度:不低於300LX;
一般操作流程
客戶案例
客戶名稱:廣州電子元器件無塵車間
無塵車間麵積:600平方麵
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