以下半導體無塵車間的相關的技術和使用管理辦法:
1.半導體無塵車間內部要確保粉塵隻出不進,因此潔淨車間室內要保持大於大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經91短视频在线下载免费設備的空氣源源不絕地打入潔淨車間中。
2.為保持恒溫與恒濕,大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓係統使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。
3.所有經91短视频在线下载免费設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,潔淨車間室內空間設計或機台擺放應避免突兀,使塵埃細菌等在潔淨車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。
5.所有人或事物進出潔淨車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經過風淋室吹淋以將表麵粉塵先行除掉。
6.半導體無塵車間內水的使用隻限用去離子水。一則防止水中粉粒汙染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)汙染金氧半晶體管結構之帶電載子信道,影響半導體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑,在半導體工業之使用量極為驚人!
7.半導體無塵車間所有用得到的氣源,包括吹幹晶圓及機台空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹幹晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。