潔淨廠房標準-氣流之流動

潔淨廠房的潔淨度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

潔淨廠房係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

潔淨廠房內的氣流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔淨室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而幹擾趨於混亂、雖提高風速可抑製此一擾亂之影響而保持潔淨度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔淨度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。

另一方麵欲達到潔淨室潔淨度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度事實上很困難。

潔淨廠房垂直層流式方向要保持均一氣流必須：

（a）吹出麵的風速不可有速度上的差異；

（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔淨室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

一般操作台或生產設備等表麵的氣流分流點，應設於潔淨室空間與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從製程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作台因而將受到汙染，良率也勢必降低。

潔淨廠房內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔淨度將會較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

潔淨廠房標準-構成

潔淨室的構成是由下列各項係統所組成（在所組成的係統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的潔淨室

（1）天花板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

（2）空調係統：包括空氣艙、過濾器係統、風車等。

（3）隔牆板（Partitional wall）：包括窗戶、門。

（4）地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

（5）照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

潔淨廠房之建築主體構造，一般采用雙麵板夾芯彩鋼板製造，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性小；

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高

潔淨廠房標準：設計與施工嚴格按照《ISO/DIS14644-1國際標準》、《GB50073-2001潔淨廠房裝設計規範》、《JGJ71-90潔淨廠房裝施工及驗收規範》等專業標準。

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