SICOLAB潔淨工程檢測技術規程

  一般規定

  一、潔淨工程檢測可分為常規檢測和綜合性能檢測。

  二、潔淨工程常規檢測應符合通風與空調工程檢測技術規程的規定。

  三、潔淨工程綜合性能檢測包括下列主要內容：

  1 潔淨室風量、風速、潔淨度、壓差的檢測；

  2 高效過濾器檢漏；

  3 潔淨室溫濕度、噪聲檢測；

  4 生物潔淨室微生物的檢測；

  5 精密操作的潔淨室微振檢測；

  6 電子工業潔淨室圍護結構表麵導靜電性的檢測；

  7 潔淨室氣流檢測；

  8 非單向流潔淨室自淨能力檢測；

  9 圍護結構嚴密性檢測；

  10 圍護結構滲漏檢測；

  11 潔淨室內甲醛、氨、臭氧、二氧化碳濃度的檢測；

  12 潔淨室分子態汙染物和表麵汙染物的檢測。

  四、潔淨室試運行和調試應在空態或靜態條件下進行，需要時也可與建設方(用戶)協商確定檢測狀態。試運行和調試時，冷(熱)源係統運轉應正常，試運行時間不應少於8h。

  五、綜合性能檢驗應在係統連續穩定運行12h以上進行。

  六、潔淨室風量、風速、潔淨度、壓差、溫濕度、噪聲的檢測應符合第3章的規定，對於有恒溫恒濕項目的檢測應符合本規程第7章的規定。

  七、潔淨室內甲醛、氨、臭氧、二氧化碳濃度的檢測，應符合國家室內空氣質量相關標準的規定，對於潔淨室分子態汙染物和表麵汙染物的檢測，應符合現行國家標準《潔淨室施工及驗收規範》GB 50591的規定。

  高效過濾器掃描檢漏

  一、高效過濾器掃描檢漏應符合下列規定：

  1 對送、排(回)風高效空氣過濾器的現場檢漏，應采用掃描法，采用光度計或粒子計數器在過濾器與安裝框架接觸麵、過濾器邊框與濾紙接觸麵以及其全部濾芯出風麵上進行。過濾器上遊用於現場掃描檢漏檢測的氣溶膠可為液態，也可為固態。

  2 被檢過濾器的風量宜在設計風量的80％～120％之間。

  3 當高效過濾器上遊大氣塵濃度低於4000粒/L，且過濾器上遊係統上可設置檢漏氣溶膠注入點時，可采用光度計法進行檢漏。

  4 粒子計數器法可適用於所有等級的潔淨場所過濾器檢漏，適用過濾器最大穿透率可低至0. 000005％或更低。

  5 采用光度計掃描檢漏時，高效過濾器上遊氣溶膠濃度宜在20mg／m3～80mg／m3，不得低於10mg／m3；采用粒子計數器掃描檢漏時，高效過濾器上遊濃度及采樣流量應符合表1的規定。當上遊濃度達不到規定要求時，應采用適當措施增加上遊濃度。

  表1粒子計數器掃描檢漏時的參數

  二、高效過濾器掃描檢漏應按下列方法進行：

  1 檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表麵2cm～3cm處，宜以1．5cm／s(2．83L／min)或2cm／s(28．3L／min)的速度移動，對被檢過濾器進行掃描。

  2 當上遊濃度較大時可提高掃描速度。

  3 采用光度計掃描檢漏時，過濾器局部透過率不應超過0．01％；采用粒子計數器掃描檢漏時，粒子計數器顯示值為檢測結果。

  生物潔淨室微生物檢測

  一、生物潔淨室微生物檢測應符合下列規定：

  1 生物潔淨室微生物檢測宜采用沉降菌法和浮遊菌法。

  2 微生物的靜態或空態檢測前，應對各類表麵進行擦拭消毒，但不應對室內空氣進行熏蒸、噴灑等消毒；動態檢測禁止對表麵和空氣進行消毒。

  3 采樣點的位置應協商確定，宜布置在有代表性的地點和氣流擾動極小的地點，在亂流潔淨室內培養皿不應布置在送風口正下方，當無特殊要求時，可在潔淨區內均勻布置。

  二、生物潔淨室微生物的檢測應按下列步驟及方法進行：

  1 檢測之前，應確保培養皿、采樣器等檢測設備沒有受到汙染。測試人員必須穿著無菌服，戴口罩，頭、手均不應 ** ，褲管應塞在襪套內。應製定和記錄檢測計劃，包括采樣位置、數量、順序等，所有培養皿均在底部編號，記錄各采樣位置相對應的培養皿編號。

  2 采用沉降法測試時。放置培養皿時宜從內向外依次布置，將帶蓋的培養皿放置在適當位置，拿開蓋子，搭在皿邊上，並使培養基完全暴露，過程中避免跨越已經暴露的培養皿。經過沉降後，宜從外向內依次收皿，將蓋子蓋好後倒置，收起培養皿。為防止脫水，最長沉降時間不宜超過1h。

  3 采用浮遊菌測試時，應開動真空泵，排除殘餘消毒劑後，再放入培養皿或培養基條，置采樣口於采樣點後，開啟采樣器、真空泵，設定采樣時間，進行采樣。

  4 收皿後應及時放入培養箱培養，在培養箱外時間不宜超過2h。當無專業標準規定時，對於檢測細菌總數，培養溫度應采用35℃～37℃，培養時間應為24h～48h；對於檢測真菌，培養溫度應采用27℃～29℃，培養時間宜為3d。對培養後的皿進行菌落計數時，應采用5倍～10倍放大鏡查看，當有2個或更多的菌落重疊時，可分辨時應以2個或多個菌落計數。

  潔淨室微振檢測

  一、潔淨室微振檢測應符合下列規定：

  1 室內微振的檢測應采用能滿足檢測精度要求的振動分析儀；

  2 測點應選在室中心地麵和有必要測定振動位置的地麵上，以及各壁板表麵的中心處。

  二、潔淨室微振檢測應按下列步驟及方法進行：

  1 應分別測出室內全部91短视频在线下载免费空調設備正常運轉和停止運轉兩種情況下縱軸、橫軸和垂直軸三個方向的振幅值；

  2 微振測試宜分階段進行，首先應進行本底環境振動測試，再進行建築結構振動測試，對於精密設備儀器應首先進行安裝地點的環境振動測試，再進行精密設備儀器的微振測試。

  圍護結構表麵導靜電性檢測

  一、地麵、牆麵和工作台麵等表麵導靜電性能應采用符合精度要求的高阻計檢測。

  二、圍護結構表麵導靜電性檢測應在測試表麵上選定代表區域的兩點，用導線把高阻計和圓柱形銅電極連接起來進行測量。

  潔淨室氣流檢測

  一、潔淨室氣流檢測應符合下列規定：

  1 不應用氣流動態數值模擬(CFD)的分析結果代替潔淨室氣流檢測；

  2 氣流檢測包括氣流流型、氣流流向、流線平行性等，可采用絲線法或示蹤劑法(發煙等)等，逐點觀察和記錄氣流流向，並可用量角器測量氣流角度，也可采用照相機或攝像機等圖像處理技術進行記錄，采用熱球式風速儀或超聲三維風速儀等測量各點氣流速度；

  3 采用絲線法時可采用尼龍單絲線、薄膜帶等輕質材料，放置在測試杆的末端，或裝在氣流中細絲格柵上，直接觀察出氣流的方向和因幹擾引起的波動；

  4 采用示蹤劑法時，可采用去離子(DI)水，用固態二氧化碳(幹冰)或超聲波霧化器等生成直徑為0．5μm～50μm的水霧，采用四氯化鈦(TiCl4)等“酸霧”作示蹤劑時，應確保不致對潔淨室、室內設備以及操作人員產生危害。

  二、潔淨室氣流檢測應按下列步驟及方法進行：

  1 氣流流型檢測時，對於垂直單向流潔淨室可選擇潔淨室縱、橫剖麵各一個，以及距地麵高度0．8m、1. 5m的水平麵各一個；水平單向流潔淨室可選擇縱剖麵和工作區高度水平麵各一個，以及距送、回風牆麵0．5m和房間中心處等3個橫剖麵。所有麵上的測點間距均應為0．2m～1. 0m。對於亂流潔淨室，應選擇通過代表性送風口中心的縱、橫剖麵和工作區高度的水平麵各1個，剖麵上的測點間距應為0．2m～0．5m，水平麵上的測點間距應為0．5m～1．0m。兩個風口之間的中線上應設置測點；

  2 氣流流向檢測時，應在被測區域內前後之間設置多個測點；

  3 流線平行性檢測時，應在每台過濾器下設置測點。

  非單向流潔淨室自淨能力檢測

  一、非單向流潔淨室自淨能力檢測應符合下列規定：

  1 非單向流潔淨室自淨能力檢測宜適用於ISO6級和ISO7級潔淨室，對於更低級別的潔淨室不宜檢測；

  2 自淨能力檢測可采用計算自淨時間和實測自淨時間比對的方法，具體檢測方法應符合現行國家標準《潔淨室施工及驗收規範》GB 50591的規定；

  3 宜采用100：1自淨時間檢測法進行檢測，同時采用大氣塵或人工塵源，采用粒子計數器測試。

  二、非單向流潔淨室自淨能力檢測應按下列步驟及方法進行：

  1 將室內濃度升高到100倍的潔淨室級別上限濃度，采用塵埃粒子計數器對室內潔淨度進行間隔1min的連續檢測，記錄達到級別上限濃度所需要的時間；

  2 自淨速率、100：1自淨時間應按下列公式計算：

  圍護結構嚴密性檢測

  一、圍護結構嚴密性檢測應符合下列規定：

  1 圍護結構嚴密性檢測宜使用目測法、壓力衰減法和恒壓法；

  2 壓力衰減法和恒壓法的壓力設定值，應根據工程實際情況與建設方協商確定，且不應超過圍護結構的承受能力；

  3 測試過程中室內溫度應保持穩定。

  二、圍護結構嚴密性檢測應按下列步驟及方法進行：

  1 當采用目測法時，應采用發煙管等示蹤指示劑，在有壓潔淨室的待測位置進行氣流示蹤檢查，觀察有無明顯的滲漏氣流；

  2 當采用壓力衰減法時，被測潔淨室內到達某一設定壓力後，應觀察室內壓力隨時間的衰減情況，記錄壓力衰減到一半時所用的時間；

  3 當采用恒壓法時，被測潔淨室內到達某一設定壓力後，應通過補氣或抽氣使室內壓差維持穩定，采用流量計讀取漏泄量，每分鍾讀數一次，取平均值，測試不宜超過5min。

  圍護結構防滲漏檢測

  一、圍護結構防滲漏檢測應符合下列規定：

  1 圍護結構防滲漏測試宜采用粒子計數器和光度計；

  2 應檢查圍護結構的連接處、各種縫隙、工藝管道穿牆處，測試點的數目和位置宜協商確定。

  二、圍護結構防滲漏檢測應按下列步驟及方法進行：

  1 應在潔淨室內，距被測部位5cm處，以5cm／s的速度進行掃描，檢查滲漏情況。

  2 當采用粒子計數器時，應首先測量潔淨室外部緊鄰圍護結構或入口處的粒子濃度，該濃度不應小於潔淨室內濃度的103倍，且不應低於3．5×106粒／m3，當濃度小於該值時，應采用人工塵提高濃度。對於打開的入口的防滲漏檢測，宜采用示蹤法檢測入口處的氣流流向。

  3 當采用光度計時，宜在潔淨室圍護結構外側發人工塵，其濃度應超過光度計在0．1％設置時的滿量程，對於打開的入口的防滲漏檢測，應采用光度計測量門內側0．3m～1．0m處的微粒濃度。