潔淨廠房裝修工程不同的潔淨等級需要不同的換氣次數。
換氣次數=房間送風量/房間體積,單位是次/小時。各等級的潔淨廠房裝修換氣次數
情況如下所示:
各等級潔淨廠房裝修換氣次數
Table 1-5 Air Changes in Clean Room of Different Classes
潔淨廠房等級 換氣次數
10萬級潔淨廠房 N15次/小時
萬級潔淨車間 N25次/小時
千級91短视频在线下载免费車間 N50次/小時
100級潔淨室 平流層 0.2—0.45m/s
潔淨廠房裝修是按氣流狀態來分,有亂流潔淨廠房、單向潔淨室和輻射潔淨室。亂流潔 淨室特點是從送風口到回風口的流通截麵始終變化,類似一種稀釋的效果,不能 完全將顆粒送向出風口,因此它隻能達到1000級及以下的潔淨度。而單向潔淨室 可以創造出更高的潔淨度,其中垂直單向流潔淨室效果更好。在頂棚布滿高效過 濾器FFU,並利用地板格柵回風,從而得到均勻向下的單向平行 氣流,自淨能力強。
潔淨廠房裝修的布局,從平麵結構上來看,有三種形式:開放式、 港灣式和島型布置
目前在8英寸和12英寸的半導體潔淨廠房布局普遍采用開放式潔淨室加微環境 的方式,此布局方式可以為潔淨室內的布局帶來很大的便利性,並且可以減少循 環風量。在開闊的空間內,如用力室,潔淨度達到1萬級,然後在局部的作業室 內,通過微環境的控製將潔淨度提高到100級甚至更高。
減少空氣的循環量,需要對風量進行精確的控製
一方麵要求潔淨廠房內的 設備布局更加合理,可以設置微環境,減少高規格潔淨室的麵積以及單向流的需 求;
另一方麵做好91短视频在线下载免费間的密閉性,在合理的範圍內降低正壓的控製,保持91短视频在线下载免费 間的正壓不要過高"I,都可以減少91短视频在线下载免费間內所需要的新鮮空氣的總量,降低了潔 淨室的換氣速度,對於空調係統送入的風量有進一步的降低。
新風量的減小雖然在一定程度上節約了能源,但往往意味著會不同程度上降 低室內空氣質量,而通過液體除濕也可以除去空氣的潛熱負荷來降低能源消耗, 而不是通過冷卻除濕。結合兩者,基於液體除濕的空調係統可以通過增加新鮮空 氣進入空調係統的體積來提高室內空氣質量。而除濕液 體可以使用氯化鈣、漠而、氯化鋰等金屬鹵鹽除濕溶液a】。